DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS DE DIAMANTE VIA HFCVD

UMA INTRODUÇÃO

  • Diego Llopis Brazcubas Educação
  • Cesar Tamaru
  • Ronaldo Orfão
  • Dirceu Galvão
  • Wagner Mello

Resumo

O diamante é dos materiais mais impressionantes do ponto de vista tecnológico, com aplicações na área da mecânica, química, óptica e eletrônica. Diversas dessas aplicações exigem que o diamante esteja na forma de um filme fino de espessura micro ou nanométrica. Dentre as técnicas de deposição para estes filmes, a mais bem estabelecida é a HFCVD, que permite a deposição de filmes finos de diamante CVD sobre diversos substratos.

Publicado
2019-06-03